半导体、液晶面板等信息产业中设备制造用驱动装置有滚珠丝杠、直线导轨和滚动轴承，它们的润滑脂导致的颗粒具有恶劣影响。润滑脂产生的颗粒是半导体制造过程中的污染源，是导致产品失去价值的缺陷的主要原因。
以往的环境下一般使用蒸发量小的氟素系润滑脂，但存在摩擦力矩、耐磨性及耐蚀性等问题。而市售的以矿物油和合成油为基油的润滑脂产尘量过大，存在不适合清洁环境的问题。
为了改善这个问题，NSK开发了清洁环境用LG2、LGU润滑脂。产尘量与动摩擦力矩的变化关系如图1、2所示。
LG2润滑脂通过最合适的配比，在严格精密的制作条件下，实现了低产尘性。同时具有耐磨损性、耐蚀性和低摩擦力矩等优异特性。
LGU润滑脂则在LG2润滑脂之上，具有更高的温度使用范围，同时从配方成分中去除了金属元素。
表1显示了低产尘性润滑脂的性能。
